半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料,其下游應(yīng)用十分廣泛,包括集 成電路,通訊系統(tǒng),光伏發(fā)電,人工智能等領(lǐng)域。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等, 其中硅是商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種。中國(guó)集成電路芯片市場(chǎng)容量快速擴(kuò)大,帶動(dòng)半導(dǎo)體材料需求增加。半導(dǎo)體材料使用主要集中在制造和封裝兩大環(huán) 節(jié),一般來(lái)說(shuō),半導(dǎo)體材料可分為晶圓制造材料和封裝材料。其中,晶圓制造材料包括硅 片、電子特氣、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、拋光材料等;封裝材料包括引線框架、 封裝基板、陶瓷基板等。
而隨著半導(dǎo)體集成電路高速發(fā)展,也面臨一些挑戰(zhàn)。首先,隨著越來(lái)越多的設(shè)備連接到 IoT(物聯(lián)網(wǎng))并在其上蓬勃發(fā)展,無(wú)線連接和速度成為一個(gè)問(wèn)題;其次,防水或防腐蝕的設(shè)備對(duì)消費(fèi)者來(lái)說(shuō)是一個(gè)巨大的吸引力;第三,設(shè)備需要可靠耐用,能夠承受持續(xù)、長(zhǎng)時(shí)間的使用和偶爾的粗暴處理。這些都是半導(dǎo)體器件需要滿足的重要要求,也是半導(dǎo)體薄膜材料供應(yīng)商需要解決的挑戰(zhàn)。
通過(guò)磁控濺射沉積不同薄膜涂層保護(hù)材料可以解決這些挑戰(zhàn)性問(wèn)題。在半導(dǎo)體器件上沉積各種DLC薄膜涂層不僅可以提高它們的效率,而且可以延長(zhǎng)它們的使用壽命。
采用DLC絕緣涂層,解決半導(dǎo)體器件鋁盤(pán)因電流溫度影響其使用壽命短的問(wèn)題
很多半導(dǎo)體器件受電流和溫度的影響以及工作環(huán)境受磨損而影響其使用壽命,為了提升此半導(dǎo)體器件鋁盤(pán)的使用壽命,表面采用了DLC涂層薄膜薄膜,DLC涂層具有絕緣性能,電阻值可在10的2-10的3次方,且類金剛石 (DLC) 涂層可以給半導(dǎo)體器件提供最大程度的耐磨防護(hù),防止器件刮傷和斷裂。在應(yīng)用防護(hù)DLC薄膜涂層后可以顯著延長(zhǎng)半導(dǎo)體器件鋁盤(pán)的壽命。
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