DLC處理的不銹鋼游星輪對(duì)酸堿具有良好的抗腐蝕能力,適用于在磨拋過(guò)程含有酸堿性工藝的產(chǎn)品使用。耐磨性強(qiáng)以不銹鋼游星輪實(shí)際工作為例,連續(xù)工作 8500 轉(zhuǎn);表面無(wú)磨損,產(chǎn)品的表面維氏硬度達(dá)到 HV2800以上,由于游星輪跟其他工件摩擦,容易產(chǎn)生靜電,而做了DLC涂層有防靜電絕緣性能,從而保護(hù)半導(dǎo)體芯片。從而,提高了半導(dǎo)體晶片加工的游星輪的使用壽命。
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