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一、涂層厚度分布

DLC涂層的厚度分布應(yīng)均勻，無明顯的局部厚薄不均現(xiàn)象。

二、測量位置

涂層厚度的測量位置應(yīng)選取在涂層的代表性區(qū)域，包括各個主要涂層區(qū)域，以確保測量的準確性和可靠性。測量位置應(yīng)選取在涂層表面平整、無劃痕、無氣泡等缺陷的區(qū)域。

三、精度要求

DLC涂層厚度的測量精度應(yīng)符合相關(guān)標準和規(guī)定的要求。通常情況下，測量精度應(yīng)控制在士5%以內(nèi)，以確保涂層厚度的準確性。

四、表面粗糙度

DLC涂層的表面粗糙度應(yīng)符合相關(guān)標準和規(guī)定的要求。表面粗糙度應(yīng)控制在一定的范圍內(nèi)，以確保涂層的附著力和耐性能。

五、外觀質(zhì)量

DLC涂層的外觀質(zhì)量應(yīng)符合相關(guān)標準和規(guī)定的要求。涂層表面應(yīng)平整、光滑、無氣泡、無劃痕等缺陷，色澤均勻，具有一定的美觀度。

六、硬度要求

DLC涂層的硬度應(yīng)符合相關(guān)標準和規(guī)定的要求。硬度值應(yīng)在一定的范圍內(nèi)，以確保涂層的耐磨性能和使用壽命。

七、DLC鍍層厚度測試方法:

1、磁性法

磁性測厚儀測量永久磁鐵和基體金屬之間由于存在覆蓋層而引起磁引力的變化，或者是測量穿過覆蓋層與基體金屬的磁通路的磁阻。測試范圍:適合測量磁性金屬上非磁性鍍層:

2、金相法

采用金相顯微鏡檢測橫斷面，直接以標尺以輔助測量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法，測試范圍:一般厚度檢測需要大于1um，才能保證測量結(jié)果在誤差范圍之內(nèi):厚度越大，誤差越小。測試方法的優(yōu)缺點:它屬于破壞法，其優(yōu)點在于適用的鍍層。

3、庫侖法

測試原理:庫侖法測厚是對被測部分的金屬鍍層進行局部陽極溶解通過陽極溶解鍍層達到材料基體時的電位變化來進行鍍層厚度的測量。庫侖法測厚，將被測金屬鍍層作為陽極:并置于電解液中進行電解，所溶解的金屬量與通過的電流和溶解時間的乘積成比例，既與消耗的電量成比例。

測試范圍:適合測量單層和多層金屬覆蓋層厚度陽極溶解庫侖法，包括測量多層體系，如Cu/Ni/Cr以及合金覆蓋層和合金化擴散層的厚度。

4、電鏡法

掃描電鏡在對圖像成像時，可以非常方便地利用軟件對樣品進行膜厚測量，并且會精確顯示測得的膜厚。