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1、硬度及彈性模量。

類金剛石涂層（DLC），是一種四面非晶體碳,其sp3鍵含量為80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高，膜層內(nèi)的成分對(duì)膜層的硬度有一定的影響， Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。

2、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度。

薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個(gè)重要因素，內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以制備的DLC膜最好具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大部分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜基結(jié)合強(qiáng)度一般比較低，通過(guò)采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過(guò)渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強(qiáng)度，在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強(qiáng)度達(dá)44N-74N，制備的膜導(dǎo)總體厚度可達(dá)5um。

3、摩擦性能
DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性，而且具有很低的摩擦系數(shù)，一般低于0.05，是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜相比，在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達(dá)0.13-0.15的摩擦系數(shù)。

像微型機(jī)械驅(qū)動(dòng)器具有運(yùn)動(dòng)的部分，如微型發(fā)動(dòng)機(jī)、齒輪、軸承，在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)經(jīng)歷表面的緊密接合。在微尺度下，粘性剪切力特別高，所以液態(tài)潤(rùn)滑劑不再是降低摩擦的有效途徑。以Si為基礎(chǔ)的微型電動(dòng)機(jī)、微型發(fā)動(dòng)機(jī)僅能正常運(yùn)行幾分鐘接著就會(huì)因?yàn)槟Σ炼鴮?dǎo)致崩潰。DLC涂層擁有很低的摩擦系數(shù)并且磨耗率(每單位滑動(dòng)距離的磨耗量)也很低，使它們成為MEMS設(shè)備理想的固態(tài)潤(rùn)滑劑。實(shí)驗(yàn)階段的線性電動(dòng)機(jī)，滑動(dòng)件表面覆蓋了5~15nm厚的DLC層，延長(zhǎng)了部件的使用壽命至(15~80）×106個(gè)周期。盡管大多數(shù)的MEMS馬達(dá)并不應(yīng)用于腐蝕性的空氣環(huán)境中，但它們還是會(huì)通過(guò)物理吸附作用來(lái)接觸到外界腐蝕環(huán)境，這個(gè)過(guò)程則會(huì)使材料的摩擦耐磨性能產(chǎn)生相當(dāng)大的波動(dòng)。四面體非晶碳膜(ta-C)在這方面的表現(xiàn)比含氫非晶碳膜(a-C：H)優(yōu)越，它們的摩擦系數(shù)在真空及干燥環(huán)境下較高，但卻在相當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)表現(xiàn)得很穩(wěn)定，即使在濕度增加的環(huán)境中也沒(méi)有顯著增加。

4、耐腐蝕性
純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續(xù)性所致。