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    工藝溫度 80~150°C低溫涂層:含氫類(lèi)金剛石DLC涂層
    來(lái)源:技術(shù)支持 | 發(fā)布日期:2024-01-27

    含氫類(lèi)金剛石DLC涂層的主要成份是碳,是一種兼有高硬度與優(yōu)異摩擦性能的非晶體硬質(zhì)薄膜由石墨(SP2)與金剛石(SP3)組成。SP3金剛石的碳原子在空間構(gòu)成連續(xù)、堅(jiān)固的骨架結(jié)構(gòu),所以堅(jiān)硬,成正八面體晶狀體。SP2石墨的碳原子呈平面層狀結(jié)構(gòu),層與層之間的作用力小,所以很軟,能導(dǎo)電,有滑感的鱗片狀結(jié)構(gòu)此類(lèi)類(lèi)金剛石(DLC)涂層通常由含氫(H)氣體如乙炔C2H2,甲烷CH4經(jīng)過(guò)PECVD的方式獲得.而且可以在較低工藝溫度下獲得,工藝溫度最低可以低于80°C,從而可以有效解決材料熱變形等缺陷。

    含氫類(lèi)金剛石(DLC)涂層

    由于其優(yōu)異的摩擦性能,在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。特別是在無(wú)潤(rùn)滑劑情況下,摩擦系數(shù)也很低(µ=0.0050.2)含氫類(lèi)金剛石DLC涂層摩擦系數(shù)小,而且抗粘附性好,硬度高、耐磨性?xún)?yōu)良。

     

    類(lèi)金剛石DLC涂層的特性

    薄膜厚度:<=3um

    摩擦系數(shù):0.05~0.1

    薄膜硬度:<30GPa (HV3000)

    最高使用溫度:350°C

    薄膜顏色: 黑色/黑灰色

    工藝溫度: 80~150°C

    涂層結(jié)構(gòu): 納米單層/復(fù)合

     

    【責(zé)任編輯】小編

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