空間飛輪是三軸穩(wěn)定衛(wèi)星姿態(tài)控制的執(zhí)行機(jī)構(gòu)之一,它直接影響著衛(wèi)星的精度和壽命。軸系是飛輪本體的關(guān)鍵組件,工作在高真空、高低溫交變的特殊環(huán)境。軸承是飛輪的承載件,在低速運(yùn)行時(shí),軸承滾珠和滾道間處于邊界潤(rùn)滑狀態(tài),容易發(fā)生疲勞磨損壞。
類金剛石薄膜是一種短程有序而長(zhǎng)程無(wú)序、具有非晶態(tài)和微晶結(jié)構(gòu)的含氫碳膜,是人工合成的含有sp碳和sp碳混雜的非晶亞穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)。它具有類似金剛石膜的高硬度、高化學(xué)穩(wěn)定性、高熱傳導(dǎo)率、高電阻率、高耐磨和抗腐蝕性、優(yōu)異的生物兼容性,以及特有的、比金剛石膜更好的極低真空摩擦因數(shù)等特性,因而在光學(xué)、機(jī)械、熱學(xué)、聲學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、電子、計(jì)算機(jī)硬盤和紅外光窗口等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
等離子體浸離子注與沉積技術(shù)同傳統(tǒng)的離子注人技術(shù)相比具有費(fèi)用低、非視線性薄膜厚度可控和能處理大靶、復(fù)雜形狀靶等優(yōu)點(diǎn),采用等離子體浸離子注人與沉積技術(shù)將類金剛石薄膜沉積在軸承鋼上,軸承鋼的摩擦因數(shù)由087下降到0.1摩擦磨損性能得到較大改善。
軸承內(nèi)外圈十無(wú)氫類金剛石(DLC)沉積。軸承內(nèi)外圈無(wú)氫類金剛石(DLC)沉積工藝中,無(wú)氫類金剛石(DLC)沉積過(guò)程中,高壓脈沖寬度小于脈沖陰極弧放電脈沖的寬度,從而使膜層中既存在右墨(無(wú)高壓脈沖情況下形成)又存在金剛石結(jié)構(gòu)。
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